인증서 및 표창
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항목
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출원일자
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등록일자
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출원/등록번호
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다운로드
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버닝 스크러버
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06.06.27
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07.06.13
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제 0730377호
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반응가스 가열수단
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05.08.13
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07.06.13
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제 0730378호
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화학 기상 증착장치의 히터모듈
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05.07.26
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07.06.13
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제 0730379호
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반도체 공정용 정전척
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05.12.06
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07.06.13
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제 0730380호
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다공성 세라믹을 이용한 단열부재
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05.07.26
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07.06.13
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제 0730381호
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마이크로파 플라즈마 어플리케이터 및 원격 플라즈마 반도체 식각장비
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12.05.23
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14.06.03
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제 1406203호
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벨로즈 히터장치
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15.08.17
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16.11.02
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제 1674313호
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카본소재를 이용한 방열판
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17.10.31
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19.03.13
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제 1959824호
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